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博曼Bowman鍍層超大PCB/晶圓測(cè)量XRF測(cè)厚儀A系
產(chǎn)品型號(hào): A系列
產(chǎn)品品牌:Bowman美國(guó)博曼
產(chǎn)品介紹:

美國(guó)博曼(Bowman)是高精度臺(tái)式鍍層測(cè)厚儀供應(yīng)商,擁有近40年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。博曼XRF系統(tǒng)搭載擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的鍍層檢測(cè)技術(shù)和先進(jìn)的軟件系統(tǒng),可精準(zhǔn)高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統(tǒng)可同時(shí)測(cè)量包含基材在內(nèi)的五層元素,其中任何兩層元素可以是合金。同時(shí),博曼XRF系統(tǒng)也可以測(cè)量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測(cè)量系統(tǒng)滿足業(yè)界對(duì)精度,可靠性和易用性的嚴(yán)格要求。

詳細(xì)介紹


A 系列微型 XRF 專為**測(cè)量半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域中*小的 X 射線特征而設(shè)計(jì)。 它可容納非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓,以實(shí)現(xiàn)完整的樣品覆蓋和多點(diǎn)可編程自動(dòng)化。

Bowman 的 A 系列使用多毛細(xì)管光學(xué)器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM,這是使用 XRF 儀器進(jìn)行涂層厚度分析的世界上*小的。 140X 放大相機(jī)用于測(cè)量該比例的特征; 它配有一個(gè)輔助低放大倍率相機(jī),用于實(shí)時(shí)查看樣品和鳥(niǎo)瞰宏觀視圖成像。 Bowman 的雙攝像頭系統(tǒng)讓操作員可以看到整個(gè)零件,單擊圖像以使用高倍率攝像頭進(jìn)行縮放,并**定位要編程和測(cè)量的特征。

可編程 XY 平臺(tái)在每個(gè)方向上移動(dòng) 23.6 英寸(600 毫米),可以處理
業(yè)內(nèi)*大的樣本。 該平臺(tái)的每個(gè)軸的精度小于 +/- 1 μm,并且是
用于選擇和測(cè)量多個(gè)點(diǎn); Bowman 模式識(shí)別軟件和自動(dòng)對(duì)焦
功能也會(huì)自動(dòng)執(zhí)行此操作。 該系統(tǒng)的內(nèi)置模式識(shí)別可用于查看零件(例如硅晶片)上涂層的形貌。






  

  


產(chǎn)品規(guī)格

元素測(cè)量范圍: 13號(hào)鋁元素 到 92號(hào)鈾元素
X射線管: 50 W Mo 目標(biāo) Flex-Beam 毛細(xì)管光學(xué)器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選:Cr 或 W
探測(cè)器: 優(yōu)于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測(cè)器
分析層數(shù)
及元素?cái)?shù):
5 層(4 層 + 基礎(chǔ)),每層 10 個(gè)元素。 同時(shí)分析多達(dá) 25 種元素的成分
濾波器/準(zhǔn)直器: 4位置一次濾波器
輸出焦深: 固定為0.08英寸(2.03毫米)
數(shù)字脈沖處理: 具有靈活整形時(shí)間的 4096 CH 數(shù)字多通道分析儀。 自動(dòng)信號(hào)處理,包括死區(qū)時(shí)間校正和逃逸峰校正
計(jì)算機(jī): Intel,CORE i5 第 9 代處理器 (4.1 GHz),16GB RAM,Microsoft Windows 10 Prof,64 位
相機(jī): 1 / 4"CMOS-1280×720 VGA分辨率
視頻放大倍率: 140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View
電源: 720W,100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz
重量: 1000kg(2200磅)
工作環(huán)境: 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對(duì)濕度小于98%,無(wú)冷凝
可編程XYZ平臺(tái): XYZ行程:600毫米(23.6英寸)x 600毫米(23.6英寸)x 100毫米(3.9英寸)
XY桌面:560mm(22“)x 585mm(23”)
X & Y 軸精度:1um (40u”)
Z軸精度:1um (40u”)
樣品倉(cāng)尺寸: 高度:100mm(4"),寬度:1400mm(55"),深度:1470mm(58")
外形尺寸: 高度:1780mm(70"),寬度:1470mm(58"),深度:1575mm(62")
其他新特征: Z 保護(hù)陣列、自動(dòng)對(duì)焦、聚焦激光、圖案識(shí)別、Semi S2 S8 兼容就緒

X射線管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
陽(yáng)極靶材 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探測(cè)器
SDD硅漂移探測(cè)器 普通 普通 普通 普通 普通 普通 無(wú) 無(wú) 無(wú)
大窗口硅漂移探測(cè)器 可選 可選 可選 可選 可選 可選 普通 普通 普通
光斑尺寸
單個(gè)準(zhǔn)直器 普通 普通 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú)
多個(gè)準(zhǔn)直器 無(wú) 可選 普通 普通 普通 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú)
毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 可選 即將推出! 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自動(dòng)聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
單個(gè)固定焦距 普通 普通 無(wú) 無(wú) 無(wú) 普通  普通 普通 普通
可變焦距 無(wú) 可選 普通 普通 普通 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú)
視頻放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú)
55X 微型 可選 可選 可選 可選 可選 普通 無(wú) 無(wú) 無(wú)
140X 微型 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 普通 普通 普通
7倍數(shù)碼變焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 無(wú) 普通 普通 普通
表格檢視 無(wú) 無(wú) 無(wú) 可選 可選 無(wú) 普通 普通 普通
平臺(tái)&外形尺寸
Z軸控制方式 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 可編程 可編程
Z軸行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 無(wú) 固定 可編程 可編程 可編程  可編程 可編程 可編程 可編程
標(biāo)準(zhǔn)XY行程 無(wú) 無(wú) 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可選XY行程 1.5 × 1.5" 無(wú) 10 × 10" 無(wú) 無(wú)  10 × 10" 無(wú) 無(wú) 無(wú)
可選的Max XY Travel 無(wú) 無(wú) 16 × 16" 無(wú) 無(wú)  16 × 16" 16 × 16" 無(wú) 無(wú)
平臺(tái)精度 無(wú) 無(wú) 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
樣品倉(cāng)尺寸(高*寬*深) 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
總重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg

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