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山田YAMADA高照度鹵素強(qiáng)光燈缺陷
產(chǎn)品型號:YP-150I/YP-250I蕪湖表面灰塵
產(chǎn)品品牌:YAMADA山田光學(xué)
產(chǎn)品介紹:

日本山田光學(xué)YP-150I/YP-250I YAMADA高照度鹵素強(qiáng)光燈 根據(jù)具體要求可以選擇黃光和白光兩種光源 可檢測各種缺陷 如硅片 砷化鎵 碳化硅 等半導(dǎo)體晶片及液晶基板表面的異物 劃痕 拋光不均 霧狀 劃傷等

詳細(xì)介紹

日本山田光學(xué)YP-150I/YP-250I YAMADA高照度鹵素強(qiáng)光燈
根據(jù)具體要求可以選擇黃光和白光兩種光源 可檢測各種缺陷 如硅片 砷化鎵 碳化硅
等半導(dǎo)體晶片及液晶基板表面的異物 劃痕 拋光不均 霧狀 劃傷等

高亮度鹵素光源設(shè)備

是宏観観察用的照明設(shè)備,可検測各種缺陥如半導(dǎo)體晶片及液晶基板加工中*費(fèi)人工的成形製品表面
的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。


概要

山田光學(xué)YAMADA半導(dǎo)體用鹵素光源照明裝置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 特點(diǎn)介紹


高亮度鹵素光源裝置在半導(dǎo)體芯片及液晶基板加工

是宏観観察用的照明設(shè)備,可検測各種缺陥如半導(dǎo)體晶片及液晶基板加工中*費(fèi)人工的成形製品表面的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。

用于檢測各種缺陷的宏觀觀察用照明裝置檢查燈。


山田光學(xué)YAMADA半導(dǎo)體用鹵素光源照明裝置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 規(guī)格參數(shù)


1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。

2、光源采用鹵素?zé)簦珳馗?,照度不均小,光線極其穩(wěn)定銳利。

3、采用冷鏡,熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。

4、兩級切換機(jī)構(gòu),一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。

YP-150I 照度范圍:30mmφ

YP-250I 照度范圍:60mmφ

超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測

*終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板

另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高?/b>

光照不均勻的情況很少,光照***穩(wěn)定銳利。

姊妹機(jī)“YP-250I”也可用于 8 英寸。

光源采用鹵素?zé)?/b>

■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

請用于超精密平面檢測!



1. 可照明様品表面範(fàn)囲於400.000Lx以上。
2. 因使用鹵素光源燈的光源,具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。

3. 冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3

4. 二段切換構(gòu)造,可用按扭切換高照明観察及低照明観察。

YP-150I???照度範(fàn)囲 φ30
YP-250I???照度範(fàn)囲 φ60
(YP-250I的通風(fēng)機(jī)可選択螺旋式風(fēng)扇或管道通風(fēng)機(jī)形)

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