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流量范圍（N2轉換20°C / 1 ATM）	1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式	熱繞組傳感器
準確性	±1％F.S.（20°C）
溫度系數(shù)	0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性	±0.2%F.S.（20°C）內
可工作壓力	300kPa（G）以下
耐壓	980kPa（G）
He泄漏率	1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度	0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C）
允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無結露）
氣體接觸材料	車身SUS316L
隔膜Ni.Co
閥座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
電氣連接	Dsub 9針KFC　標準（符合SEMI標準）
流量設定輸入信號	0~5 VDC（*小負載電阻250kΩ以上）
所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）100 mA
配件（車身尺寸）	標準1/4 VCR等效
重量	約800g

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下列型號均有售

KOFLOC小島流量計用于大流量的流量計MODEL RK1950 AP SERIES

KOFLOC小島流量計樹脂制丙烯酸樹脂制流量計MODEL RK500 SERIES

KOFLOC小島流量計樹脂制流量計MODEL RK20T SERIES

KOFLOC小島流量計氣體混合專用流量計MODEL RK120XM SERIES

KOFLOC小島流量計用于多個實驗室中的**流量測量多流量計MODEL RK140X SERIES

KOFLOC小島流量計帶針閥的多流量計MODEL RK120X SERIES

KOFLOC小島流量計用于大流量的流量計MODEL RK2000?RK2005?RK2006 SERIES

KOFLOC小島流量計用于警報開關帶光電傳感器的流量計MODEL RK1812?RK1814 SERIES

KOFLOC小島流量計用于警報開關帶開關的流量計MODEL RK1970?RK1975?RK1976 SERIES

KOFLOC小島流量計用于科學測量設備吹掃流量計MODEL RK1000 SERIES

KOFLOC小島流量計用于科學測量設備帶針閥的吹掃流量計MODEL RK1600R SERIES

KOFLOC小島流量計用于科學測量設備帶針閥的吹掃流量計MODEL RK1650 SERIES

KOFLOC小島流量計低成本流量計MODEL RK1700 SERIES

KOFLOC小島流量計緊湊型流量計MODEL RK1710 SERIES

KOFLOC小島流量計低泄漏流量測量控制用波紋管針閥流量計MODEL RK1500 SERIES

KOFLOC小島流量計低壓損流量計MODEL RK130/230/260 SERIES

KOFLOC小島流量計可更換錐形管的簡易流量計　柔性流量計MODEL RK1100 SERIES

KOFLOC小島流量計用于**的流量測量控制裝備有精密針閥的流量計MODEL RK1200 SERIES

KOFLOC小島流量計液體用恒定流量閥MODEL 2600-PPS

KOFLOC小島流量計不受供應側壓力波動影響的一次壓力波動型氣體流量控制器MODEL 2204 SERIES

KOFLOC小島流量計簡易多旋轉型適用于大流量的簡易針閥MODEL 2400D SERIES

KOFLOC小島流量計精密加工旋轉式針閥【禁油規(guī)格（無油脂）】MODEL 2420 SERIES

KOFLOC小島流量計液體用恒定流量閥MODEL 2600 SERIES

KOFLOC小島流量計根據(jù)設定刻度控制流量附多刻度盤精密針閥MODEL 2412M SERIES

KOFLOC小島流量計非旋轉式針精密閥門精密針閥MODEL 2412 SERIES

KOFLOC小島流量計穩(wěn)定控制大流量大流量精密針閥MODEL 2412D SERIES

KOFLOC小島流量計面板固定迷你型簡易針閥MODEL 2400/2400A SERIES

KOFLOC小島流量計不受出口側壓力波動的影響適用于二次壓力波動型氣體的流量控制器MODEL 2203 SERIES

KOFLOC小島流量計小型比例電磁閥MODEL 3000 SERIES

KOFLOC小島流量計背壓閥MODEL 6800 SERIES

KOFLOC小島流量計低壓調節(jié)專用精密調節(jié)器壓力調節(jié)閥MODEL 6610 SERIES

KOFLOC小島流量計分析儀器專用調節(jié)器大流量專用壓力調節(jié)閥MODEL 6700 SERIES

KOFLOC小島流量計分析儀器專用精密調節(jié)器壓力調節(jié)閥MODEL 6600 SERIES

KOFLOC小島流量計液體專用流量計超音波流量計 FML-500

KOFLOC小島流量計低成本數(shù)字質量流量計MODEL D3810 SERIES

KOFLOC小島流量計**金屬密封質量流量控制器MODEL 5100 SERIES

KOFLOC小島流量計**質量流量控制器MODEL 3200 SERIES

KOFLOC小島流量計帶有顯示器的數(shù)字質量流量控制器/計量器MODEL D8500 SERIES

KOFLOC小島流量計帶顯示屏的數(shù)字質量流量控制器DF300DF550DF200DF250

KOFLOC小島流量計帶有顯示器的數(shù)字質量流量計MODEL DF-350C SERIES

KOFLOC小島流量計帶有顯示器的數(shù)字質量流量計EX-250SEX-550 EXE-FLOWTM MODEL EX-700 SERIES

KOFLOC小島流量計小型數(shù)字質量流量控制器/儀表EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES

KOFLOC小島流量計全金屬數(shù)字質量流量控制器/儀表EX-700EX-250S MODEL EX-550 SERIES

KOFLOC小島流量計液體專用小型卡門渦街流量計FM31（聚四氟乙烯：PFA） SERIES

KOFLOC小島流量計低成本質量流量傳感器 MODEL 3810S SERIES

KOFLOC小島流量計液體專用小型卡門渦街流量計FM01 SERIES

KOFLOC小島流量計質量流量控制器，適用于高流量 HFC-303 SERIES

KOFLOC小島流量計小巧讀出裝置 MODEL CR-400B

KOFLOC小島流量計液體專用流量控制器FCL-200

KOFLOC小島流量計帶顯示屏的數(shù)字質量流量控制器DF350DF550DF200DF250 MODEL DF-300C SERIES

KOFLOC小島流量計低成本金屬密封質量流量計MODEL 5410 SERIES

KOFLOC小島流量計全金屬數(shù)字質量流量控制器DF350DF300DF200DF250 MODEL DF-550C SERIES

KOFLOC小島流量計數(shù)字質量流量控制器DF350DF300DF550DF250 MODEL DF-200C SERIES

KOFLOC小島流量計低成本質量流量計，帶顯示屏MODEL 3810DS Ⅱ SERIES

KOFLOC小島流量計 **質量流量計MODEL 3100 SERIES

KOFLOC小島流量計標準質量流量計MODEL 3760 SERIES

KOFLOC小島流量計標準質量流量控制器MODEL 3660 SERIES

KOFLOC小島流量計顯示質量流量控制器/質量流量計MODEL 8500 SERIES

KOFLOC小島流量計數(shù)字質量流量控制器DF350DF300DF550DF200 MODEL DF-250C SERIES

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低成本金屬密封質量流量計

5410型是一種質量流量計，具有進一步改進的基本性能。
雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅動方法已得到改進，以減少零漂移。
它是一種通過金屬密封結構具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。

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